氣體中水分的測(cè)定方法:
氣源是僅次于電源的一種動(dòng)力源,氣源同時(shí)還是--種重要的工藝介質(zhì),這種雙重身份使氣體在工業(yè)基礎(chǔ)中充當(dāng)了重要的角色。氣體的生產(chǎn)和使用都要考慮到水分的影響。水有時(shí)也被認(rèn)為是一種“萬(wàn)能溶劑",這是由于它的*的物理和化學(xué)性質(zhì)決定的。各個(gè)領(lǐng)域的研究及應(yīng)用中都涉及到水分的分析,微電子工業(yè)、石油、化工領(lǐng)域尤為突出。超高純度氣體對(duì)于半導(dǎo)體集成電路中所要求的越來(lái)越小的幾何特征具有極其重要的作用。經(jīng)證實(shí),氣體中只要有十億分之幾的水分就可在硅片上導(dǎo)致瑕疵。
工業(yè)生產(chǎn)氣體中水分不同于其他氣體雜質(zhì)(0、N、CH、CO,等),水分的存留與氫鍵有關(guān),氫鍵比其他作用的范德華力和偶極矩力表現(xiàn)出更強(qiáng)的吸引力,因此水分被固體表面吸附就很難除去。一般用長(zhǎng)時(shí)間吹掃的方法除去氣體中的水分,即目前氣體中水分含量的指標(biāo)。因此,在上述領(lǐng)域中,一般都需要對(duì)微量水分加以監(jiān)測(cè)。水分的測(cè)定分析方法可分為物理方法和化學(xué)方法兩大類,如:光腔衰蕩光譜法、電解法、露點(diǎn)法、卡爾費(fèi)休庫(kù)侖法、重量法、碳化鈣法等。
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